產品描述
產品特點：
• 檢測同時支持線寬測量及套刻測量三合一。
• 表面缺陷檢測能力可達 0.3um。
• 自動檢測無需人工，單機缺陷檢測模式。
• 靈活高效多種方式的缺陷和自動缺陷分類。
• 單層圖形和多層圖形檢測，及自定義區域檢測。
• 高精度線寬量及套刻尺寸測量系統。
• 自動腳本編程能力和自動化運行。
• 自帶自動檢測料盒功能，自帶 Mapping 功能，可雙面檢測。
• 晶圓機械手完成設備內的晶圓片運轉；JEL/ 首鐳自主機械手。
產品應用領域：
全自動晶圓外觀檢查機主要是適用于晶圓外觀缺陷的檢測設備，以提高客戶生產效率；適用于 4inch，6inch，8inch 晶圓。
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