全自動視覺AOI檢查機(jī)
全自動晶圓外觀檢查機(jī)主要是適用于晶圓外觀缺陷的檢測設(shè)備，以提高客戶生產(chǎn)效率；適用于 4inch，6inch，8inch 晶圓。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 檢測同時支持線寬測量及套刻測量三合一。
• 表面缺陷檢測能力可達(dá) 0.3um。
• 自動檢測無需人工，單機(jī)缺陷檢測模式。
• 靈活高效多種方式的缺陷和自動缺陷分類。
• 單層圖形和多層圖形檢測，及自定義區(qū)域檢測。
• 高精度線寬量及套刻尺寸測量系統(tǒng)。
• 自動腳本編程能力和自動化運(yùn)行。
• 自帶自動檢測料盒功能，自帶 Mapping 功能，可雙面檢測。
• 晶圓機(jī)械手完成設(shè)備內(nèi)的晶圓片運(yùn)轉(zhuǎn)；JEL/ 首鐳自主機(jī)械手。
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
全自動晶圓外觀檢查機(jī)主要是適用于晶圓外觀缺陷的檢測設(shè)備，以提高客戶生產(chǎn)效率；適用于 4inch，6inch，8inch 晶圓。
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